超精密加工是指:按照超穩(wěn)定、超微量切除等原則,實現(xiàn)加工尺寸誤差和形狀誤差在0.01毫米以下的加工技術(shù)。
1.被加工材料:超精密加工的零件,其材料的化學成分、物理力學性能、加工工藝性能均有嚴格要求。例如,要求被加工材料質(zhì)地均勻、性能穩(wěn)定、無外部及內(nèi)部微觀缺陷,不能含有雜質(zhì):其物理力學性能,如拉伸強度、硬度、延伸率、彈性模量、熱導率和膨脹系數(shù)等應達到一定數(shù)量級;材料在冶煉、鑄造、輾軋、熱處理等工藝過程中,應嚴格控制熔渣過濾、輾軋方向、溫度等,使材質(zhì)純凈、晶粒大小勻稱、無方向性,能滿足物理、化學、力學等性能要求。
2.加工設備及其基礎元部件:對超精密加工所用的加工設備有下列要求: (1)高精度。包括高靜精度和高動精度,主要的性能指標有幾何精度、定位精度和重復定位精度、分辨率等,如主軸回轉(zhuǎn)精度、導軌運動精度、分度精度等; (2)高剛度。 包括高靜剛度和高動剛度,除本身剛度外,還應注意接觸剛度,以及由工件、機床、刀具、夾具所組成的工藝系統(tǒng)剛度;(3)高穩(wěn)定性。設備在經(jīng)運輸、存儲以后,在規(guī)定的工作環(huán)境下使用,應能長時間保持高精度、抗干擾及穩(wěn)定性。設備應具有良好的耐磨性、抗振性等;
(4)高自動化。為了保證加工質(zhì)量,減少人為因素影響,加工設備多采用數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)自動化。
3.加工工具:加工工具主要是指刀具和磨具。用金剛石刀具超精密切削,值得研究的問題有:金剛石刀具的超精密刃磨,其期口鈍圓半徑應達到2~4nm,同時應解決其檢測方法,刃口鈍圓半徑與切削厚度關系密切,若切削的厚度欲達到10nm,則刃口鈍圓半徑應為2nmo磨具當前主要采用金剛石微粉砂輪超精密磨削,這種砂輪有磨料粒度、粘接劑、修整等問題,通常采用粒度為W20~W0.5的微粉金剛石,粘接劑采用樹脂、銅、纖維鑄鐵等。
4.檢測與誤差補償:超精密加工必須具備相應的檢測方法,不僅要對工件表面質(zhì)量進行檢驗,而且要檢驗加工設備和基礎元部件的精度。其尺寸和形位精度可用電子測微儀、電感測微儀、電容測微儀、自準直儀等來測量;表面粗糙度可用電感式、壓電晶體式表面形貌儀等進行接觸測量,或用光纖法、電容法、超聲微波法和隧道顯微鏡法進行非接觸測量;表面應力、表面變質(zhì)層深度、表面微裂紋等缺陷,可用X光衍射法、激光干涉法等來測量。檢測可采取離線的、在位的和在線的三種方式。誤差預防是通過提高機床制造精度、保證加工環(huán)境等來減少誤差源對其影響;誤差補償是在誤差分離的基礎上,利用誤差補償裝置對誤差值進行靜態(tài)和動態(tài)補償,以消除誤差本身的影響。
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